Mô tả
Nikon의 Confocal NEXIV는 IC 계측의 새로운 차원을 제공합니다.
Nikon의 Confocal NEXIV VMR-K3040ZC는 안정적인 반도체 제품에 대한 엄청난 수요로 인한 복잡한 IC 패키지의 계측 요구 사항을 해결합니다. Confocal NEXIV는 Z-시리즈 측정의 문제를 해결하기 위해 공초점 기능을 사용하는 새로운 광학 측정 헤드를 특징으로 합니다. 이 헤드는 마이크론 수준의 측정 기능을 지원하며 전체 시야를 최적화하기 위해 낮은 왜곡을 강조하여 반도체 측정에 최적화되었습니다.
카테고리: 비전 시스템
애플리케이션: 액정 디스플레이, MEMS, 파워트레인 구성요소, 휴대전화, 면도기 – 시계, 자동 측정, 망원경 광학 장치, 안테나, 통신 – 전자 제품
공초점 대물렌즈
공초점 대물렌즈: 1.5x – W.D. 24mm, 3x – 폭 24mm, 7.5x – 폭 24mm
고급 이미지 처리
정확성과 반복성을 보장하는 강력한 에지 감지를 통한 고급 이미지 처리 대비 및 충실도.
높이 측정
1.5초 사이클 시간에 2시그마에서 0.35의 빠른 공초점 고정밀 높이 측정.
소프트웨어 자동화
프로그래밍하기 쉬운 새로운 다목적 VMR Automate 소프트웨어에는 CAD 리더, 오프라인 프로그래밍, 프로파일링 소프트웨어 및 프로그래밍 마법사가 포함됩니다.
무결점 프로그레시브 B/W CCD
선택된 무결점 기기 등급 프로그레시브 스캔 흑백 CCD 카메라로 더 빠른 이미지 획득 및 시스템 속도.
이상적인 애플리케이션
매우 높은 정확도를 요구하는 미세 차원의 2D 및 3D 공작물을 측정하는 데 이상적입니다. 예로는 고급 IC 패키지의 범프 높이, MEMS, 프로브 카드, 마이크로 렌즈, 콘택트 렌즈, 컬러 FPD 패널용 포토 스페이서, 몰드 등이 있습니다.
공초점 기술의 장점
생명 과학 연구에서 널리 사용되는 공초점 현미경은 제어 가능한 피사계 심도, 초점이 맞지 않는 정보를 저하시키는 이미지 제거, 재료 샘플에서 직렬 광학 섹션을 수집하는 기능을 포함하여 기존 광학 현미경에 비해 몇 가지 이점을 제공합니다. 공초점 접근 방식의 핵심은 공간 필터링을 사용하여 재료 샘플 이미지에서 플레어를 제거하는 것입니다. Nikon Confocal NEXIV는 Nipkow 디스크를 사용합니다. 이 디스크에는 빛이 통과하고 미니 빔으로 분할되는 핀홀 구멍의 나선형이 대칭적으로 배치되어 있습니다. 디스크가 회전함에 따라 각 빔은 샘플 필드의 일부를 스캔하고 3D 이미지를 생성합니다. 이미지는 광학 단면 기술을 사용하여 디지털 CCD 카메라에 투영됩니다. 그 결과 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 높이 측정 데이터를 제공하는 한 번의 스캔으로 캡처된 3D 이미지가 생성됩니다.
고급 광학
고급 Nikon 광학은 향상된 반복성과 정확성을 위해 우수한 이미지를 제공합니다.
텔레센트릭 줌
5단계 15x 텔레센트릭 줌(15:1) 확대로 다양한 시야와 해상도 요구 사항을 처리합니다.
300 x 400 x 150mm 스테이지
빠르고 정확하며 내구성이 뛰어남 – 300 X, 400Y mm 이동, 150mm Z의 Mehanite 캐스트 스테이지 포함.
향상된 스테이지 정확도
새로운 낮은 팽창 계수 0.1µm 분해능 스케일로 스테이지 정확도가 향상되었습니다.
대구경 볼스크류
고속 및 강성을 위한 DC 서보 모터가 있는 정밀 연삭 대구경 볼스크류.
TTL 레이저 자동 초점
비전 및 TTL 레이저 자동 초점. 렌즈를 통한 고속 레이저는 초당 1000포인트를 스캔합니다. 2시그마에서 0.5µm Z 정확도.
